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刻蝕（ET）：LAM 9400、9600
AMAT CENTURA II＆I
AMAT SEMVision G2
離子注入（DF）：VARIAN
EATON（axcelis）
NISSIN
AMAT PI9500 9200
光刻（PH）：NIKON NSR
ASML 5500
太陽能光伏PECVD：centrotherm（管式鍍膜）Roth＆Rau（平板式鍍膜德國(guó)）
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